Sistem penyejukan nitrogen cecair digunakan secara meluas dalam industri semikonduktor & cip, termasuk proses,
- Teknologi Molecular Beam Epitaxy (MBE)
- Ujian cip selepas pakej COB
Produk Berkaitan
Siri Paip Bertebat Vakum
Siri Hos Fleksibel Bertebat Vakum
Sistem Pam Vakum Dinamik
Siri Pemisah Fasa Tertebat Vakum
Siri Injap Bertebat Vakum
Peralatan Sokongan Sistem Paip
EPITAXY RASUK MOLEKUL
Teknologi Molecular Beam Epitaxy (MBE) telah dibangunkan pada tahun 1950-an untuk menyediakan bahan filem nipis semikonduktor menggunakan teknologi penyejatan vakum.Dengan perkembangan teknologi vakum ultra-tinggi, aplikasi teknologi telah diperluaskan kepada bidang sains semikonduktor.
HL telah melihat permintaan sistem penyejukan nitrogen cecair MBE, tulang belakang teknikal yang teratur untuk berjaya membangunkan sistem penyejukan nitrogen cecair MBE khas untuk teknologi MBE dan satu set lengkap sistem paip terlindung vakum, yang telah digunakan di banyak perusahaan, universiti dan institut penyelidikan .
Masalah biasa industri semikonduktor & cip termasuk,
- Tekanan Nitrogen Cecair ke dalam Peralatan Terminal (MBE).Cegah Beban Tekanan daripada Peralatan Terminal (MBE) yang Merosakkan.
- Pelbagai Kawalan Masuk dan Keluar Cecair Kriogenik
- Suhu Nitrogen Cecair ke dalam Peralatan Terminal
- Jumlah Pelepasan Gas Kriogenik yang Munasabah
- (Automatik) Penukaran Talian Utama dan Cawangan
- Pelarasan Tekanan (Mengurangkan) dan Kestabilan VIP
- Membersihkan Kemungkinan Kekotoran dan Sisa Ais daripada Tangki
- Masa Pengisian Peralatan Cecair Terminal
- Prapenyejukan Saluran Paip
- Rintangan Cecair dalam Sistem VIP
- Kawal Kehilangan Nitrogen Cecair Semasa Perkhidmatan Terputus Sistem
Paip Bertebat Vakum (VIP) HL dibina pada kod Paip Tekanan ASME B31.3 sebagai standard.Pengalaman kejuruteraan dan keupayaan kawalan kualiti untuk memastikan kecekapan dan keberkesanan kos kilang pelanggan.
PENYELESAIAN
HL Cryogenic Equipment menyediakan pelanggan dengan Sistem Paip Bertebat Vakum untuk memenuhi keperluan dan syarat industri semikonduktor & cip:
1.Sistem Pengurusan Kualiti: ASME B31.3 Kod Paip Tekanan.
2. Pemisah Fasa Khas dengan Masuk dan Keluar Cecair Pelbagai Kriogenik dengan fungsi kawalan automatik memenuhi keperluan pelepasan gas, nitrogen cecair kitar semula dan suhu nitrogen cecair.
3. Reka bentuk ekzos yang mencukupi dan tepat pada masanya memastikan peralatan terminal sentiasa berfungsi dalam nilai tekanan yang direka bentuk.
4. Penghalang Gas-cecair diletakkan di dalam paip VI menegak di hujung saluran paip VI.Penghalang Gas-cecair menggunakan prinsip pengedap gas untuk menyekat haba dari hujung saluran paip VI ke dalam Paip VI, dan mengurangkan kehilangan nitrogen cecair secara berkesan semasa perkhidmatan terputus-putus dan terputus-putus sistem.
5. Paip VI Dikawal oleh Siri Injap Bertebat Vakum (VIV): Termasuk Injap Penutup Bertebat Vakum (Pneumatik), Injap Semak Bertebat Vakum, Injap Kawal Selia Bertebat Vakum dll. Pelbagai jenis VIV boleh digabungkan secara modular untuk mengawal VIP sebagai diperlukan.VIV disepadukan dengan prefabrikasi VIP dalam pengilang, tanpa rawatan Bertebat di tapak.Unit pengedap VIV boleh diganti dengan mudah.(HL menerima jenama injap kriogenik yang ditetapkan oleh pelanggan, dan kemudian membuat injap berpenebat vakum oleh HL. Sesetengah jenama dan model injap mungkin tidak boleh dijadikan injap berpenebat vakum.)
6. Kebersihan, jika terdapat keperluan tambahan untuk kebersihan permukaan tiub dalam.Pelanggan dicadangkan memilih paip keluli tahan karat BA atau EP sebagai paip dalaman VIP untuk mengurangkan lagi tumpahan keluli tahan karat.
7. Penapis Bertebat Vakum: Bersihkan kemungkinan kekotoran dan sisa ais dari tangki.
8. Selepas beberapa hari atau lebih penutupan atau penyelenggaraan, adalah sangat perlu untuk menyejukkan VI Piping dan peralatan terminal sebelum cecair kriogenik dimasukkan, untuk mengelakkan sanga ais selepas cecair kriogenik terus memasuki VI Piping dan peralatan terminal.Fungsi prapenyejukan perlu dipertimbangkan dalam reka bentuk.Ia memberikan perlindungan yang lebih baik untuk peralatan terminal dan peralatan sokongan VI Piping seperti injap.
9. Sesuai untuk Sistem Paip Bertebat Vakum (Fleksibel) Dinamik dan Statik.
10. Sistem Paip Bertebat Vakum Dinamik (Fleksibel): Terdiri daripada Hos Fleksibel VI dan/atau Paip VI, Hos Pelompat, Sistem Injap Bertebat Vakum, Pemisah Fasa dan Sistem Pam Vakum Dinamik (termasuk pam vakum, injap solenoid dan tolok vakum dsb. ).Panjang hos fleksibel VI tunggal boleh disesuaikan mengikut keperluan pengguna.
11. Pelbagai Jenis Sambungan: Jenis Sambungan Bayonet Vakum (VBC) dan Sambungan Dikimpal boleh dipilih.Jenis VBC tidak memerlukan rawatan terlindung di tapak.